发布时间:2026-06-19 03:56:43 作者:spoz 点击:5117 【 字体:大中小 】
2012年夏季奧林匹克運動會克羅埃西亞代表團會參加2012年7月27日至8月12日在英國倫敦舉行的林匹第三十屆奧林匹克運動會。



洞头网讯(记者 庄缘 王从华)6月20日上午,市人大常委会副主任陈永光带队来我区开展文明城市建设督查,并为北岙街道、元觉街道颁发“最优镇街”流动红旗。区人大常委会主任刘素婷陪同。
据介绍,在2023年温州市文明城市创建第二轮实地测评情况中,北岙街道在市建成区内排名第二,元觉街道在市建成区外排名第二。本轮测评采取“明察+暗访”的形式,抽选市区内42个街镇中的部分街镇同步开展,并对测评成绩排名靠前的镇街予以通报表扬。
颁旗仪式上,陈永光表示,获得流动红旗的单位要珍惜荣誉、再接再厉,继续凝结强大的力量,以背水一战的决心、务实过硬的作风、决战决胜的状态,坚决打赢文明城市建设这场硬仗。
随后,陈永光一行来到我区腾飞路、广场路及新城农贸市场检查,发现整体环境卫生状况较好,市场秩序井然,同时对水产区地面排水设施管理提出了指导性建议。
座谈会上,陈永光指出,文明城市建设既是开卷考,也是竞赛考,又是淘汰考,要持续推进常态化整改,下足绣花功夫;要突出亚运会主题,组织开展相关活动,创新谋划特色亮点,营造文明城市建设浓厚氛围;要同心同向同目标,共同打好这场“迎亚运、享盛会、游温州”的文明建设大会战,交上一份城市文明精彩蝶变的满意答卷。
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市人大常委会副主任陈永光来我区督查文明城市建设工作
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圣萨蒂南 (康塔尔省)
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让泰
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滨海特鲁维尔
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“汪书记,这么快就弄好了,谢谢你啊,都快下班了,还特意送过来。有了这枚‘爱心二维码’胸牌,我和老伴出去再远也不怕啦!”“不用谢,这是我们应该做的,今后您有什么需要随时告诉我们。”9月25日下午5时许,在贵池区池阳街道古舜社区杏村小区,家住8号楼的李奶奶开心地从汪绍琴手中接过两枚“爱心二维码”胸牌。 今年48岁的汪绍琴现任古舜社区党委书记、居委会主任,自1993年走上社区工作岗位以来,一直扎根基层,以“做好社区民生‘微’实事”为目标,深入调查研究、不断探索社区建设新路子、服务民生新途径,每天忙着解民忧、纾民困,社区居民视她为自己的“贴心人”。今年7月,汪绍琴被评为“池州好人”。
古舜社区位于主城区中心地段,属于商居结合型社区,辖区有农贸市场、超市、商业步行街和5个开放式小区,流动人口多,管理难度大。汪绍琴自任职以来,立足社区实际,精细化服务,大力提升社区治理水平。
她从小处着手,在全市率先设立“邻里议事点”,制定“我为群众办实事”任务清单,积极解决巷道环境整治、晾晒点安装、充电桩设置等重难点问题。
她创新工作思路,探索建立“3156”工作法破解社区治理难题,实行楼栋调解、网格调解、社区调解三层网络体系,开展网格化信息采集、资源整合、成效检验等工作;成立“钱姐工作室”,发动党员、社会工作者、群防群治队伍等“进群”搭建参与平台;组建香樟“古舜之家”“五彩阳光驿站”“乐邻祥和小屋”“心援助幸福家”“解忧援助小栈”5支专业联调团队,动员社区工作者、业委会、志愿者、楼栋长等社会力量共同参与,发挥专业团队优势;采取“听、问、调、帮、和、访”6步工作法使调解工作更加多元化、专业化。2022年“3156”工作法被安徽省民政厅授予“全省优秀社区工作法”。
近年来,汪绍琴依托“香樟古舜”党建服务品牌,为38户困难家庭提供居家关爱服务;为25名社区老年人精心设计订制专属个人的“爱心二维码”,给老年朋友的安全提供有力保障;联合池州学院大学生志愿者先后共为800余名留守儿童连续8年开展“爱暖童心筑梦启航”志愿服务活动;搭建创业就业平台,推送各类就业信息近千余条,帮助推荐就业岗位45个。
多年来,汪绍琴在平凡的工作岗位上始终恪守“奉献不言苦,追求无止境”的人生格言,不仅高质量完成上级交办的各项工作任务,还赢得了群众的广泛赞誉。她先后获得“全国妇联系统劳动模范”“池州市皖美警嫂”“池州市‘十佳’村(社区)党组织书记”等荣誉,并当选安徽省第十一次党代会代表、池州市第五次党代会代表、贵池区第十六届人大代表。
“我只是一个平凡的社区干部,取得的成绩属于社区所有工作人员。今后,我将继续用心用情做好服务,努力成为社区居民最信赖的‘贴心人’。”面对众多荣誉和赞美,汪绍琴说。(记者 倪晓春)
" alt="汪绍琴:甘做居民“贴心人”" onerror="nofind(this)">汪绍琴:甘做居民“贴心人”
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谢尔沃-沙特拉尔
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昂泰里约
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利涅尔-索讷维尔
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合肥:“爱心冰柜”城市温度的“青春聚变”
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克朗代勒
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蒙唐伯夫
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埃拉维尔
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9月25日,杭州亚运会将产生38枚金牌。游泳赛场精彩继续,覃海洋、叶诗文、徐嘉余等游泳名将轮番登场;体操赛场同样值得关注,期待中国体操女团冲金成功。这些看点不容错过。
看点1:中国体操女团剑指冠军 48岁丘索维金娜再战亚运
9月25日,亚运会竞技体操女子资格赛暨团体决赛将拉开帷幕,竞技体操是中国代表团亚运冲金的传统优势项目,女队在亚洲的领军地位也一直十分稳固,已经实现女团12连冠。
本届亚运会虽然主场作战,但中国女子体操队面临的挑战却并不小,特别是最大对手日本队将对中国女团发起强有力的冲击。竞技体操女子资格赛暨团体决赛将于19:30开始,代表中国女团出战的章瑾、唐茜靖、虞琳敏、张欣怡、左彤将目标锁定为冠军。
同样值得关注的还有被中国网友亲切称为“丘妈”的乌兹别克斯坦体操运动员丘索维金娜,已经年满48岁的她,再次复出来到杭州亚运会。“我还没能为祖国乌兹别克斯坦拿到一枚(重要赛事的)奖牌,我不能就这样结束我的体操生涯。”
唯有热爱,可抵岁月漫长!这次杭州亚运会,她将取得怎样的成绩?让我们一起拭目以待。
看点2:游泳赛场精彩继续,覃海洋能否顺利拿下个人首金
9月25日,游泳项目将产生7枚金牌。覃海洋在男子100米蛙泳、徐嘉余在男子50米仰泳、万乐天和汪雪儿在女子50米仰泳、余依婷和叶诗文在女子200米个人混合泳上具备夺金实力。
覃海洋在24日晚的比赛中不敌队友汪顺,夺得男子200米混合泳亚军。他能否在游泳赛事第二日顺利拿下个人首金,备受关注。
中国香港名将何诗蓓在女子200米自由泳上有较强的实力;男子4×200米自由泳接力将是一场龙虎大战。
看点3:射击项目产生多金,男子10米气步枪、男子手枪速射值得关注
9月25日,射击项目将产生6枚金牌。其中男子10米气步枪、男子手枪速射项目中国队高手云集,盛李豪、余浩楠、杜林澍及在世锦赛25米手枪速射项目上创造世界纪录的老将李越宏将为观众奉献精彩表演。
看点4:团体半决赛开战!期待国乒男女队继续乘风破浪
9月24日,中国队选手马龙在比赛中回球。
9月25日,亚运会乒乓球项目将展开男女团体半决赛较量。
11:00,中国乒乓球女队将在半决赛与泰国队交锋,后者在四分之一决赛中以3比2险胜朝鲜队,另外一场半决赛将由韩国对阵日本。18:30,中国乒乓球男队将在半决赛中对阵中国台北,另外一场半决赛将在韩国与伊朗之间进行。值得一提的是,伊朗男乒在四分之一决赛中爆冷以3比0击败了日本队。这批黑马能否继续取得突破,我们拭目以待!
期待国乒将士披荆斩棘,晋级决赛!
资料来源:杭州亚运会官网、新华网、中国体育报、中国奥林匹克委员会微博、光明网、都市快报、新京报等,具体比赛情况以实际为准。
" alt="亚运看点丨体操女团期待连冠,中国游泳军团能否再掀夺金潮">亚运看点丨体操女团期待连冠,中国游泳军团能否再掀夺金潮
赖克斯
桑萨克韦纳泽斯
圣日耳曼德蒙戈姆里
巴德士水性木器漆获中山市科技进步奖
努瓦耶博卡日
昂维尔
埃斯特雷圣母村
合肥:“爱心冰柜”城市温度的“青春聚变”
埃斯皮纳斯 (康塔尔省)
圣艾蒂安拉蒂耶
梅尔潘

亳州蒙城县两案例入选全国农村电商发展典型
记者昨日获悉,由中国国际电子商务中心等单位主办的“电商赋能 链动乡村”2025年农村电商高质量发展交流会公布了2025年全国农村电商“领跑县”、县域直播电商中心(村播学院)和县域数字流通龙头企业案例集,蒙城县两个案例入选。
蒙城县电商公共服务中心入选全国县域直播电商中心案例集,体现了其在直播电商人才培养、直播活动组织、推动产业发展等方面的突出成效;蒙城县盛源粮食贸易有限公司入选全国县域数字流通龙头企业案例集,彰显了其在粮食等农产品数字化流通、供应链优化、市场拓展等方面的引领作用。
近年来,蒙城县抢抓国家电子商务进农村综合示范创建机遇,积极完善农村电商生态体系,构建协同发展机制,推动农村电子商务高质量发展,成果显著。在农产品上行方面,蒙城县通过搭建“蒙城好物”等线上平台,积极开展各类消费帮扶活动,大力培育直播人才与账号,同时与知名主播、知名电商品牌合作,整合本地农副产品进行展示展销。
“我们通过搭建线上平台,帮助300余户农户销售农副产品,累计销售额3000余万元。”蒙城县商务局电商发展服务中心主任刘柱介绍,“蒙城好物”电商平台已受理35家企业,上线蜂蜜、花生、牛肉、粉丝等100余款公共品牌农特产品,持续拓宽农产品销售渠道,促进农民增收。
在完善农村电商公共服务体系方面,该县搭建“两中心一站点”服务网络,即电商公共服务中心、物流配送中心和村级电商服务站点,为农产品上行提供全方位服务。以11个乡镇交通运输服务站为试点,建成集客运、邮政快递、乡镇特色产品展示、直播中心等功能为一体的综合服务站,完成104家村级电商网点功能升级,行政村快递服务覆盖率100%。
“下一步,我们将继续加大对电商产业的支持力度,进一步完善电商服务体系,培育更多优秀电商企业与人才,深化农产品上行与直播电商发展,助力乡村振兴,努力打造全国农村电商高质量发展的标杆。”刘柱表示。(记者 张珍 通讯员 姜秋月)
编辑: 刘晓东" alt="亳州蒙城县两案例入选全国农村电商发展典型" onerror="nofind(this)">
卡洛讷河畔圣朱利安

库尔雅克

圣日耳曼德蒙戈姆里

海南自贸区:3%关税如何打造国际艺术品流通枢纽 收藏资讯

一、3%关税:成本革命,重塑全球艺术品定价权
长期以来,高税负是制约海外文物回流与国际艺术品入境的最大卡点。内地常规通道,艺术品进口需承担15%关税+13%增值税,综合税负高达28%。一件估价1亿元的海外瓷器,仅税费就要2800万元,高额成本让大量流失文物难以回家。
海南自贸港的3%关税政策,直接带来颠覆性改变:
- 综合税负从28%降至3%,降幅达89%;
- 1亿元藏品,税费从2800万元降到300万元,节省2500万元;
- 保税仓内展示、交易、仓储全程免税,成交后再完税,大幅降低机构资金占用。

海口海关数据显示,2025年海南封关运作首年,艺术品保税交易412票、货值21.7亿元,累计免征税费3.08亿元,平均每单节省成本超75万元。3%关税不是简单让利,而是用制度优势,把全球艺术品的“流转首选地”搬到中国海南。
二、数据说话:低关税如何引爆交易规模
政策落地后,海南艺术品市场呈现爆发式增长,用硬核数据印证3%关税的强大引力。

1. 成交额快速放量
2025年海南文物艺术品总成交额68.4亿元,占全国市场5.7%;2026年一季度同比增长196%,全年有望突破200亿元,三年内向千亿级迈进。
2. 文物回流提速
低关税让海外文物回家成本大减,2026年海南口岸回流文物交易额预计突破500亿元,占全国回流总量40%,高古瓷、明清官窑、近现代书画成为主力。
3. 机构加速集聚
三亚CBD已吸引保利文化、苏富比、佳士得、中信国际拍卖等150+头部机构入驻,形成“国际巨头+本土龙头”格局。2025年海南举办30余场国际展览、7场重点拍卖会,单场成交率最高89%,拍卖总成交额超3亿元。
4. 品类结构优化
高古瓷成交占比42%、近现代书画26%、当代艺术14%,海外精品与中国传统艺术双向流通,海南正成为东西方艺术交汇中心。

三、组合政策:3%关税只是开始,全链条赋能枢纽建设
3%关税是“引爆点”,海南真正的竞争力,是一揽子超低制度成本:
- 保税交易:一线进口零关税、免征增值税,岛内自由流转,先展拍、后完税;
- 企业优惠:鼓励类文创企业所得税15%(内地25%),拍卖、仓储、鉴定全链条减负;
- 通关便利:72小时快速通关、白名单制度、多元税收担保,跨境流转效率提升3倍;
- 加工增值:艺术品在琼加工增值超30%,经“二线”进入内地免征关税,打通“海南交易、全国分销”通道。

对比香港、日内瓦、纽约等传统艺术枢纽,海南在税负、空间、配套、面向中国内需四大维度全面占优。3%关税+保税+低所得税+内需市场,形成不可复制的政策闭环,让海南从“中转站”变成“目的地”。
四、三大价值:3%关税如何重构行业格局
1. 全球文物回流“第一站”
过去,大量流失文物经香港、海外市场辗转,成本高、周期长。海南3%低关税,让直接回流成为最优路径。预计未来五年,经海南回流文物超200万件,总价值超3000亿元,破解“文物回家难”。

2. 国际艺术品“定价中心”
更低成本吸引全球拍品、藏家、机构汇聚,交易量提升带来流动性溢价。海南将逐步建立以人民币计价的艺术品价格指数,争夺亚太地区定价权,改变欧美长期主导的市场格局。
3. 艺术金融“创新试验田”
低成本+高流通,为质押、基金、信托、保险提供优质底层资产。2026年海南艺术品质押规模有望突破80亿元,艺术品基金规模超300亿元,备案藏品可实现“保税仓储+快速融资+全球交易”全闭环。

五、未来三年:海南将成为亚太第一艺术流通枢纽
按照规划,2026—2028年是海南艺术品枢纽成型的关键期:
- 2026年:成交额破200亿元,机构超300家,保税仓面积超10万㎡;
- 2027年:年交易超500亿元,文物回流占全国50%,国际拍卖常态化;
- 2028年:站稳千亿级市场,成为与日内瓦、纽约、香港并列的全球四大艺术品交易中心。

对藏家、机构、投资者而言,海南3%关税不是短期红利,而是十年一遇的战略机遇:海外回流走海南,跨境交易选海南,资产配置看海南。
3%关税,一个时代的开启
海南自贸港以3%关税为核心,用制度创新降低流通成本、激活全球资源、服务国家文化战略。这不仅是一次税负下调,更是中国艺术品市场走向国际化、主导全球流通的标志性事件。未来,全球买家在海南竞拍,流失文物在海南回家,中国艺术在海南走向世界。3%关税,撬动的是万亿市场,成就的是国际艺术品流通枢纽的中国方案。
声明:
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希拉克 (夏朗德省)

勒维让 (康塔尔省)

皮穆瓦延

《超级机器人大战T》宣传片 多个原创角色公开

万代南梦宫日前公布了《超级机器人大战T》的全新官方宣传片。
首先是本作中新加入的原创角色,男性角色是Tokitou Saizou(草尾毅配音),女性角色是Sakurai Sagiri(庄司宇芽香配音)以及Amasaki Rami (加隈亚衣配音),三名角色都是由Nisieda设计,他们都是设计了新型VTX原型机Tiraneed的公司的雇员。
第二部视频展示了另外一些主要角色和机体。作品包括《星际牛仔》《魔法骑士雷阿斯》《乐园追放》《我青春的世外桃源无限轨道SSX》。
《超级机器人大战T》将于3月20日登陆日本地区PS4/Switch平台。
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于西

塞勒 (康塔尔省)

布雷维尔

(资料图片仅供参考)工人师傅们正在紧张有序地将粮食从货车上卸下来,一袋袋金灿灿的玉米通过传送带被运送到列车车厢里。这里每5个师傅编成一个运输小队,两名师傅在高处负责将粮食卸车放到运输带上,另外三位师傅则在车厢里将粮食码好。据了解这一袋粮食有60公斤重,一辆货车上大约有30吨粮食,一个运输小队一天需要搬运四辆货车的粮食。
据了解,吉林省已经连续4年粮食总产量超过了800亿斤,今年的产量有望再创新高。从今年10月中旬开始,长春铁路物流中心就一直处于高位运输的状态。10月份以来,吉林省累计发送粮食400万吨,同比增长近50%,吉林省内88个粮食发运站、112条专用线“火力全开”,24小时连续作业。为确保粮食运输通道持续畅通高效,国铁沈阳局为重点粮食生产企业开辟绿色通道,优先保障粮食运输需求,提升全链条运转效率。
好的粮食离不开好的物流运输,扶余营业部地处京哈铁路干线,交通便利、四通八达。通过一幅简单的交通示意图来看,从扶余发出的粮食主要是通过两种方式,一种是纯铁路运输,从扶余站首发,向南过山海关到达北京、郑州,向南最远可以到达海口;在郑州向西南运往成都、昆明等地。另一种运输方式是铁海联运,从扶余向东南方向到达辽宁的营口港和大连港,在这里转乘海运送往长三角和珠三角地区。产自黄金玉米带的优质玉米就是这样被运送到全国各地。
粮食稳则天下安,一趟趟南行的粮车不仅运送着沉甸甸的粮食,更传递着丰收的幸福与喜悦,为全国粮食安全筑牢坚实屏障。
辽宁:营口港“铁海联运”开启加速度
在刚刚的直播连线中,记者提到秋粮运输有一种很重要的运输方式——铁海联运。位于辽宁营口的营口港是北方地区重要的粮食中转枢纽,此刻,这里的秋粮运输正在火热地进行当中,一起去看看。
营口港地处辽东半岛中部、渤海湾畔,这里是距离东北地区各主粮产区最近的出海口,粮食的中转量长期位居北方港口的首位。眼下,港口内用于散粮运输的铁路专线一片繁忙,从黑龙江、吉林、内蒙古东部等地满载着玉米、小麦等作物的粮食专列正在陆续进港。
专列上的粮食被卸到大型卡车上后,会被送往散粮码头区高耸林立的筒仓群内进行储存暂放,等待装船启航南下。这些筒仓内部都安装有温湿度监测、通风系统等智能设备,可以确保粮食的品质。
目前,每天平均都有近4万吨各类粮食经铁路和公路运送到这里。远道而来的玉米、小麦、大豆会通过与筒仓相连的专用自动化传送系统被送往粮食专用码头进行装船作业。运送粮食的传送系统采用密闭传送的方式,可以在整个过程中减少粮食的损耗和降低扬尘。
在营口港47号粮食专用码头的泊位上,由传送系统运送而来的玉米正被2台自动装船机源源不断地装入散粮货轮。在另一个泊位上,大型门机也将一辆辆有序排列等待的卡车上的玉米货箱吊装上船。
江苏:激活“黄金水道”新动能 打造运输新节点
位于江苏淮安的黄码港地处京杭运河和淮河入海水道交汇处,是大宗物资通江达海重要的内河水运节点,这里刚刚建成运营的黄码港产业园将成为秋粮运输的重要节点。
黄码港向北连接徐州港,向南通达扬州港等重要港口,港口配备了现代化数智水运物流平台,形成了“储贸加一体化”链条。
为了解决秋粮运输规模化存储的难题,今年黄码港建成了18座万吨浅圆仓,单仓存储量高达1万吨,是普通平房仓的3倍多。通过运用粮食仓储行业大数据和物联网技术,将粮食进出库、智能通风、内环流控温、智能安防等系统模块进行智能化集成,可与粮食专业码头实现自动化对接,让秋粮运输实现绿色高效周转。
同时,借助黄码港的“储贸加一体化”模式,来自全国各地的粮食可以通过智能仓储系统无缝运输到相邻的大米加工企业,实现“储加联动”零延迟。
走进这家企业的大米加工车间,各条全自动化生产线高速运转,清理、砻谷、碾米、抛光等步骤有序进行,加工好的大米经过全自动真空低氧包装机,再经打包称重、抽真空、金属探测等,装袋入箱输送到成品仓库,数台高大的码垛机器人灵活运行,将刚下线的一袋袋大米码放整齐,全自动化的设备既能提高加工过程的质量稳定性,也能实时监测加工过程,进一步保障大米加工质量。
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随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。
同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于:电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:
后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:
背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程:
先进逻辑芯片制造
中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造(2024-2025 年)
外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
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